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吉致电子抛光材料 源头厂家
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吉致电子--氧化硅抛光液/硅溶胶抛光液

产品分类: 抛光液
    吉致电子抛光液/研磨液/精抛液
    产品名称:氧化硅抛光液/硅溶胶抛光液/氧化硅悬浮液/硅抛光液/二氧化硅抛光液
    磨料类型:高纯纳米氧化硅微粒
    磨料粒径:10-150nm(最高可达150nm)
    产品特点:吉致氧化硅抛光液悬浮性佳,化学性能稳定,抛光工件效率高、工时短、无划伤。
    订购热线:17706168670

      氧化硅抛光液·参数吉致电子,CMP抛光材料 可定制·速率高·效果好·专利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA

      产品名称:氧化硅抛光液,硅溶胶抛光液,二氧化硅抛光液,精抛液,纳米抛光液

      磨料类型:高纯纳米氧化硅微粒

      磨料粒径:10-150nm(最高可达150nm)

      吉致电子氧化硅抛光液悬浮性极佳,高固含量、分散性好,易摇散且不团聚,化学性能稳定。氧化硅精抛液抛光效率高,能有效缩短工时,磨抛后工件呈现镜面效果,无划伤、高平坦。

      产品工艺及用途:通过离子交换法和水解法制备不同粒径的稳定硅溶胶,经钝化添加化学助剂以及特殊工艺配制的二氧化硅抛光浆料。适用集成电路/半导体/特殊材料/金属材质/脆硬材料的镜面抛光。

      氧化硅抛光液·晶体形态

      吉致电子氧化硅抛光液/氧化硅精抛液/硅溶胶抛光液

      可按客户工艺要求调制硅溶胶抛光浆料

      氧化硅抛光液——二氧化硅微粒在抛光工件表面的损伤层极微,硬度和硅片的硬度相近,常用于半导体硅片的抛光。

      氧化硅精抛液——采用纳米级的硅溶胶有效减小表面粗糙度和损伤层深度。

      二氧化硅(SiO2)是硅溶胶抛光液的重要组成部分,其粒径大小、致密度、分散度等因素直接影响化学机械抛光的速率和抛光质量。

      吉致抛光液 硅溶胶 氧化硅 精抛液

      <吉致电子>氧化硅抛光液特点:

      1.分散性好、不结晶。

      2.粒径分布广泛:5-100nm。

      3.高纯度(Cu2+含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污。

      4.经特殊工艺合成的化学机械抛光液,纳米颗粒呈球形,单分散,大小均匀,粒径分布窄,可获得高质量的抛光精度。

      5.适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。

      6.PH、粒径、稳定离子等可以根据客户定制(10-150 nm)

      吉致抛光液 二氧化硅抛光液 硅溶胶抛光液

      抛光过程中具有:

      1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。(可以生产150 nm)。

      2.高平坦度加工,吉致氧化硅精抛液是利用SiO2的胶体粒子,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。

      抛光过程后具有:

      1.精度可以达到纳米

      2.划伤和挖伤可以达到0/0

      氧化硅抛光液·产品参数

      吉致电子氧化硅抛光液/硅溶胶精抛液

       多种型号对应不同磨抛需求(查看更多型号请联系我们)

      吉致电子CMP抛光材料--氧化硅抛光液产品规格
      型号/TypeJZ-S40NJZ-S60NJZ-S80NJZ-S100NJZ-S120NJZ-S150N
      磨料SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2
      平均粒径40nm60nm80nm100nm120nm150nm
      PH8-128-128-128-128-128-12
      定制/现货除上述规格外,吉致电子抛光液可根据客户不同工件磨抛要求调配定制

      抛光液物性表
      主要成分:外观:密度:pH值:
      SiO2白色液体1.15±0.059.8±0.5
      抛光温度:稀释率<1:抛光压力:
      10~38℃1~10150~250g/cm&sup2

      吉致电子氧化硅抛光液使用方法:

      1.可根据抛光操作条件用去离子水进行5-20倍稀释。

      2.稀释后,粗抛时调节PH11左右,精抛时调节PH9.5左右。pH调节可以用10%的盐酸、醋酸、柠檬酸、KOH或氨水在充分搅拌下慢慢加入。

      3.循环抛光可以用原液。

      吉致电子氧化硅抛光液储存方法:

      1.贮存时应避免曝晒,贮存温度为5-35℃

      2.低于0℃以上储存,防止结冰,在无度以下因产生不可再分散结块而失效。

      3.避免敞口长期与空气接触。

      吉致电子氧化硅抛光液价格:

      吉致电子的氧化硅抛光液生产技术是引进国外生产技术和设备,特殊化学配方制备而成。吉致电子抛光液品质可以媲美进口同类产品。

      本土化生产的优势使吉致电子CMP抛光液产品交货周期快,品质好,抛光液价格实惠亲民。

      吉致电子研发团队--15年经验CMP抛光液配方工程师,为您攻克抛光难题!

      吉致电子 抛光液研发团队

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