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碳化硅抛光垫/复合无纺布垫Suba800国产替代
产品名称：碳化硅抛光垫/复合无纺布抛光垫
产品厚度：1.2mm-3mm（可定制）
开槽规格：10×10--20×20（可定制）
产品直径：φ300-φ1300mm（可定制）
产品特点：高平坦性、低缺陷性和高性价比
复合无纺布抛光垫·参数吉致电子，CMP抛光材料 可定制·速率高·效果好·专利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA
产品分类：吉致电子·抛光垫
产品名称：无纺布抛光垫/碳化硅SIC抛光垫/suba800替代
产品厚度：1.2-3mm（可定制）
开槽规格：10×10--20×20（可定制）
产品直径：φ300-φ1300mm（可定制）
吉致电子抛光垫满足低、中及高硬度材料抛光需求，针对碳化硅SIC抛光的4道工艺制程搭配不同型号抛光垫（粗磨垫/精磨垫/粗抛垫/精抛垫）具有高移除率、高平坦性、低缺陷和高性价比等优势。
产品工艺及用途：特殊纤维结构高耐磨的抛光材料，适用于碳化硅SIC/再生晶圆/各类三五族或二六族等晶圆，如蓝宝石、砷化镓、氮化铝等抛光，也适用于各类衬底、窗口片或玻璃片的高平坦效果。
碳化硅抛光垫·特点
标准槽深为抛光垫厚度1/2 可以按客户不同开槽要求定制
吉致电碳化硅抛光垫的特点
结合硬质和软质研磨抛光垫的优点，可兼顾工件的平坦度与均匀度
提供更快磨合的全局平坦性，提升碳化硅晶圆制程的稳定性与尺寸精密度
特殊纤维材质，耐用、耐磨、耐酸碱，价比高
吉致电子SIC衬底CMP粗抛工艺效果：
SIC碳化硅粗抛工艺在实际应用中使用吉致电子碳化硅抛光液（JZ-8010）与 JZ3020抛光垫抛磨后，碳化硅表面RA值=0.13nm
想了解更多碳化硅CMP抛光工艺参数与方案，欢迎来电咨询
碳化硅抛光垫辅料参数：
抛光垫背胶：
吉致电子每种抛光垫都可以根据客户要求提供背胶需求（3M/国产），使用时粘结牢固，且使用后易于从盘面剥离。
背胶用途：
液晶玻璃基板的研磨布，研磨垫的固定。
晶圆，硬盘基板等研磨布的固定。
CMP垫的固定。
Rubbing Cloth固定等。
高弹缓冲垫及吸附垫：
可以根据客户需求提供缓冲垫和吸附垫。缓冲垫是灵活应用高分子工业技术所研发出的高发泡硅胶泡棉。由于它具有普通泡棉所不具有的耐热性、耐寒性、低燃烧性等特点，可适用于贴合抛光阻尼布加工制成不同厚度的抛光垫，从而使抛光效果更佳更容易保护抛光工件。
吉致电子碳化硅抛光垫价格实惠：
吉致电子抛光垫生产引进国外技术，可以媲美进口抛光垫产品（Fujiba/SUBA/环球等国产替代）品质稳定。
选择吉致电子抛光垫产品，价格美丽，比进口抛光垫便宜，交货期稳定，性价比更高！
吉致电子研发团队--15年经验CMP抛光液配方工程师，为您攻克抛光难题！
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