吉致电子抛光材料 源头厂家
25年 专注CMP抛光材料研发与生产

无蜡吸附垫·参数吉致电子，CMP抛光材料 可定制·速率高·效果好·专利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA

产品分类：吉致电子·无蜡吸附垫Template

产品名称：无蜡吸附垫/硅片吸附垫/芯片吸附垫/抛光吸盘Template/抛光模板/背附板

产品厚度：可定制

产品直径：可定制

产品背胶：国产/进口可选

吉致电子无蜡吸附垫主要用于半导体硅晶圆、碳化硅衬底、蓝宝石衬底、光学玻璃、精密陶瓷、硅片外延片、金属等产品的单面抛光，属于CMP抛光工艺的装置及耗材。

产品工艺及用途：吉致电子无蜡吸附垫可有效防止CMP加工过程中晶圆、衬底穿插和剥离现象的发生，提高抛光垫的使用寿命。同时避免工件碎片、崩角、刮伤现象的产生，提高硅片晶圆的良品率。

产品具有多种尺寸和结构 可供客户选择及按要求定制。

无蜡吸附垫·特点

吉致电无蜡吸附垫的特点：

• 有独特的孔隙结构，吸附性能表现为真空状态吸附住被抛光工件。

• 材料有良好的压缩率和回弹性，适用于中高压研磨制程。

• 特殊微孔结构吸附工件提供了理想的平坦化特性，且不易沾粘抛光浆料、耐腐蚀、易清洁、下片容易。

• 适用于单面拋光工艺中各种尺寸及形状的工件加工。

吉致电子无蜡吸附垫适用范围（包含且不限于）：

2-8寸硅片、碳化硅SiC衬底、蓝宝石衬底、光学玻璃组件、精密陶瓷件、液晶玻璃基板、金属等

吉致电无蜡吸附垫与市场竞品优劣对比：

吉致电子无蜡吸附垫半导体与光学玻璃产业中取代蜡块粘结的科技产品，简单高效可直接吸附使用。吉致电子吸附垫Template生产厂家工艺成熟，做工精良，用料扎实。产品平整度高，回弹性好，吸附力强，适使用寿命长。搭配纳米抛光液使用可提高硅片、晶圆的加工速率和良品率。

吉致电无蜡吸附垫使用方法：

Template替代用蜡将工件粘附在置具上的模式。内层採用了拋光微孔材料（分光面和绒面）

润湿后特殊微孔吸附住工件，使工件在加工过程中固定不脱落，完工后易于取片，且不会有残蜡及残胶问题。

想了解更多无蜡吸附垫及CMP抛光工艺参数与方案，欢迎来电咨询

无蜡吸附垫及CMP Pad辅料参数：

抛光垫背胶：

吉致电子每种抛光垫都可以根据客户要求提供背胶需求（3M/国产），使用时粘结牢固，且使用后易于从盘面剥离。

背胶用途：

液晶玻璃基板的研磨布，研磨垫的固定。

晶圆，硬盘基板等研磨布的固定。

CMP垫的固定。

Rubbing Cloth固定等。

高弹缓冲垫及吸附垫：

可以根据客户需求提供缓冲垫和吸附垫。缓冲垫是灵活应用高分子工业技术所研发出的高发泡硅胶泡棉。由于它具有普通泡棉所不具有的耐热性、耐寒性、低燃烧性等特点，可适用于贴合抛光阻尼布加工制成不同厚度的抛光垫，从而使抛光效果更佳更容易保护抛光工件。

吉致电子无蜡吸附垫价格实惠：

吉致电子无蜡吸附垫Template/cmp抛光垫生产引进国外技术，可以媲美进口抛光垫PAD/阻尼布抛光垫产品（Politex/Fujiba/SUBA/环球等国产替代）品质稳定。

选择吉致电子抛光垫产品，价格美丽，比进口抛光垫/精抛垫便宜，交货期稳定，性价比更高！

吉致电子研发团队--15年经验CMP抛光液配方工程师，为您攻克抛光难题！

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