- [行业资讯]SIT Slurry平坦化流程与方法[ 2022-12-15 15:44 ]
- 浅槽隔离(shallow trench isolation),简称STI。是在衬底上制作的晶体管有源区之间隔离区的一种可选工艺,通常用于亚0.25um工艺以下,利用掩模完成选择性氧化,主要绝缘材料是淀积SiO?,浅槽隔离主要分为三个部分:槽刻蚀,氧化硅填充,CMP抛光液平坦化。一,槽刻蚀1,隔离氧化硅生成:氧化硅用于保护有源区在去掉氮化硅时免受化学污染2,氮化硅(Si?N?)淀积:氮化硅是坚硬的掩模材料,有助于保护STI氧化硅淀积过程中保护有源区;在化学机械抛光(CMP)中充当阻挡材料3,浅槽刻蚀:用氟基和氯基气体
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