- [行业资讯]研磨液厂家--- 什么是CMP研磨液Slurry[ 2023-02-24 16:31 ]
- CMP研磨液(Slurry)是化学机械平面工艺中的研磨材料和化学添加剂的混合物。Slurry主要是由磨料 、表面活性剂、氧化剂、PH缓冲胶和防腐剂等成分组成。其中磨料一般包括二氧化硅(SiO2)、 三氧化二铝(Al2O3)、 氧化铈(CeO2),金刚石(单晶、多晶)等。 通俗来讲,芯片制造就像盖高楼,一层一层往上叠加,要想楼不塌,在制造下一层前必须确保本层的平坦度,这就是CMP平坦化的诉求。Wafer晶圆在制造过程中表面上是不平坦的,比如CVD、PVD、EPI、Tungsten Plug等
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