- [常见问题]蓝宝石晶圆怎么研磨--sapphire wafer抛光液实现高平坦度表面[ 2023-04-26 11:10 ]
- 吉致电子蓝宝石研磨液sapphire slurry又称为蓝宝石抛光液。专业用于蓝宝石衬底、外延片、窗口、蓝宝石wafer的减薄和抛光。蓝宝石抛光液由纯度高的磨粒、复合分散剂和分散介质组成,具有稳定性高、不沉降不易结晶、抛光速度快的优点。 通过CMP工艺搭配蓝宝石专用slurry可实现蓝宝石晶圆的高平坦度加工,吉致电子抛光液利用纳米SiO2粒子研磨表面,不会对加工件造成物理损伤,达到精密加工。蓝宝石CMP抛光液的低金属的成分,可以有效防止产品受到污染。 &n
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- [常见问题]蓝宝石抛光液是不是二氧化硅抛光液[ 2023-02-06 16:10 ]
- 蓝宝石抛光液是不是二氧化硅抛光液?蓝宝石抛光液是以高纯度硅粉为原料,经特殊工艺制备成的一种低金属离子CMP抛光液,是一种高纯度的氧化硅抛光液,广泛应用于多种材料的纳米级高平坦化抛光。吉致电子生产的蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底研磨减薄,蓝宝石A向抛光液,蓝宝石C向抛光液等。抛光范围如:硅片、锗片、化合物晶体磷化铟、砷化镓、精密光学器件、宝石饰品、金属镜面等研磨抛光加工。蓝宝石抛光液Sapphire Slurry的特点:1.高纯度(Cu含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的污染。2.高抛光速率,利用大粒径的胶
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