为什么抛光垫开槽了抛光效率没有明显提升？
您好，抛光垫沟槽的宽度有一个合理的值，如果抛光垫上开的沟槽宽度过小，不能有效改善抛光液的输送和储存，对抛光效率提高很小；如果抛光垫上开的沟槽宽度过大，抛光效率反而减小，抛光后衬底片表面粗糙度也会变大。
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