- [常见问题]什么是混合磨料抛光液?[
2022-09-08 16:12
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混合磨料抛光液 抛磨工件材质的升级和发展,对镜面要求越来越高,单一的磨料已无法满足CMP行业需求,研究人员开始尝试将不同粒径、不同形貌的一种或多种粒子组合到一起使用,开发出混合型抛光液。比如,在大粒径二氧化硅中加入小粒径的氧化硅,这样能明显提高抛光速率,且粒径相差越大提升率越高,这是因为在磨料在总的质量分数不变的条件下,增大小粒径磨料的占比能增加硅溶胶颗粒的总体数量,从而起到了提高抛光速率的作用。 大量的研究成果表明,混合粒子的使用能够不同程度的提高化学机械抛光的速率,但是对抛光后表面粗糙度
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http://www.jzdz-wx.com/Article/smshhmlpgy_1.html
- [常见问题]磨料在CMP抛光液中的作用[
2022-08-26 14:45
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抛光磨料是CMP抛光液中的主要成分,在抛光过程中通过微切削、微擦划、滚压等方式作用于工件表面,达到机械去除材料的作用。 抛光液根据磨料成分一般分为单一磨料抛光液,混合磨料抛光液,复合磨料抛光液 磨料在CMP抛光过程中起到的作用为:(1)机械作用的实施者,起机械磨削作用;(2)传输物料的功能,不仅将新鲜浆料传输至抛光垫与被抛材料之间,还将反应物带离材料表面,使得材料新生表面露出,进一步反应去除。所以选择抛光液时记得考虑分散性好,流动性好,硬度适中,易于清洗的抛光液产品,有相关问题
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http://www.jzdz-wx.com/Article/mlzcmppgyz_1.html