- [行业资讯]抛光液厂家--CMP抛光液用于几代半导体材料?[ 2023-02-17 15:50 ]
- CMP抛光液用于几代半导体材料? CMP抛光液越来越多的应用于第三代半导体材料的抛光,科研方向朝着攻克抛光液技术门槛和市场壁垒发展。CMP工艺的集成电路比例在不断增加,对CMP材料种类和用量的需求也在增加。更先进的逻辑芯片工艺可能会要求抛光新的材料,为CMP抛光材料带来了更多的增长机会。 目前,第三代半导体材料主要以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)为代表的宽禁带半导体材料。这代半导体具有更宽的禁带宽度、更高的导热率、更高的抗辐射能力
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- [行业资讯]纳米氧化硅抛光液的特点[ 2022-11-18 16:10 ]
- 纳米二氧化硅抛光液由高纯纳米氧化硅SiO2等多种复合材料配置而成,通过电解法或离子交换法制备成纳米抛光液,硅抛光液磨料分散性好,具有高强度、高附着力、成膜性好、高渗透、高耐候性、高耐磨性等特点,是一种性能优良的CMP抛光材料。广泛应用于金属或半导体电子封装抛光工艺中。吉致电子硅抛光液,CMP抛光slurry应用范围:1、可用于微晶玻璃的表面抛光加工中。2、用于硅片的粗抛和精抛以及IC加工过程,适用于大规模集成电路多层化薄膜的平坦化加工。3、用于晶圆的后道CMP清洗等半导体器件的加工过程、平面显示器、多
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