- [吉致动态]吉致电子碳化硅SiC抛光液的作用[ 2023-11-24 16:59 ]
- 抛光液是CMP的关键耗材之一,抛光液中的氧化剂与碳化硅SiC单晶衬底表面发生化学反应,生成薄且剪切强度很低的化学反应膜,反应膜(软质层)在磨粒的机械作用下被去除,露出新的表面,接着又继续生成新的反应膜,CMP工艺周而复始的进行磨抛,达到表面平坦效果。 通过研磨工艺使用微小粒径的金刚石研磨液,对SiC晶片进行机械抛光加工后,可大幅度改善晶圆表面平坦度。但加工表面存在很多划痕,且有较深的残留应力层和机械损伤层。为进一步提高碳化硅晶圆表面质量,改善粗糙度及平整度,,超精密抛光是SiC
- http://www.jzdz-wx.com/Article/jzdzthgsic_1.html
- [吉致动态]第三代半导体材料--碳化硅晶圆SiC抛光液[ 2023-04-17 16:49 ]
- 随着硅半导体材料主导的摩尔定律逐渐走向其物理极限,同时硅也满足不了微波射频、高效功率电子和光电子等新需求快速发展的需要,以化合物半导体材料,特别是第三代半导体为代表的半导体新材料快速崛起。 碳化硅是新型电力系统,特高压电网必需的可达万伏千安等级的唯一功率半导体材料,同时也是高铁和新能源汽车牵引、电控系统的“心脏”。从国际技术发展水平来看,碳化硅方面,8英寸衬底开始产业化,车规级功率器件是当前开发重点,多家厂商已推出大功率模组及高温封装产品,碳化硅器件正向耐受更高电压
- http://www.jzdz-wx.com/Article/dsdbdtclth_1.html
相关搜索
- 无相关搜索
吉致热门资讯
- 南京某手机外壳加工厂
- 上海某精磨玻璃抛光公司
- 广东硅晶片抛光厂
- 吉致应用案例:蓝宝石
- 吉致应用案例:陶瓷
- 吉致应用案例:钨钢
- 吉致资讯第56期:高性价比Leme蓝牙耳机
- 吉致资讯第64期:画家的福音“APPLE PENCIL”
- CMP抛光液的应用领域有哪些?
- 吉致资讯第118期:抛光垫性能对抛光液的影响
- 吉致资讯第119期 蓝宝石化学机械抛光液作用研究
- 吉致资讯第120期 诺基亚10 MAX长这样,这设计有点复古
- 吉致咨询第121期 海绵砂纸在模型打磨的应用
- 吉致咨询第122期 抛光液作用和浓度对工件的影响
- 吉致资讯第123期 如何正确选择合适的抛光液
- 吉致资讯第124期 陶瓷镜面抛光工艺
- 吉致资讯第125期 如何在研磨工艺中减免划痕
- 吉致资讯第126期 NASA正在研究混合动力客机:噪音更低、更省油
- 吉致咨资讯第127期 真人翻译评讯飞晓译翻译机:晚来10年的“翻译神器”
- 吉致资讯第128期 iPhone SE二代存在的意义 小尺寸大屏幕成终目