液压系统的动力元件，是靠发动机或电动机驱动，从液压油箱中吸入油液，形成压力油排出，送到执行元件的一种元件。液压泵按结构分为齿轮泵、柱塞泵、叶片泵和螺杆泵，液压泵配套配件：配油盘、回程盘、变量头、传动轴、柱塞滑靴等。

  这些液压铸件需要经过CMP工艺，利用抛光垫和抛光液的磨抛使液压金属表面平坦、光滑、消除毛刺和切割线。减少元件组合后的磨损，降低噪音，增强密封性和使用寿命。

  回程盘材质一般是不锈钢或硬质合金，吉致电子专用抛光液，针对性解决回程盘的快速抛磨和毛刺去除，提高工件的加工速率，达到良好的抛磨效果。

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