Sic Slurry 吉致电子碳化硅晶圆抛光液
吉致电子碳化硅精抛液,适用于Sic碳化硅晶圆衬底精密加工表面平坦化。wafer使用的Slurry具有高度抛光、低粗糙度的特点,SiC碳化硅衬底抛光液抛光后的晶圆表面无划伤、雾等缺陷,碳化硅晶片平坦度高。吉致电子研发的碳化硅抛光液稀释比高、抛光后表面易清洗,被广泛应用于半导体集成电路衬底的制造中。
吉致电子SiC Slurry wafer抛光液具有很好的流动性和分散性,不易结晶、易清洗、抛光效率高等优点,可以满足碳化硅晶片的精抛加工要求,也可根据客户工艺调整做定制化硅晶圆(si wafer)化学机械抛光液。
吉致电子强大的工程师团队,针对硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化镓、磷化铟等抛光液有专利配方和工艺流程,欢迎免费咨询获取解决方案!
可来样测试,吉致电子工程师1V1为您制定抛光方案,助您达到理想满意抛光效果!
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