- [行业资讯]吉致电子砷化镓衬底CMP抛光液 | 高平坦度低缺陷半导体slurry[ 2025-10-21 11:35 ]
- 吉致电子CMP抛光耗材厂家——精准匹配半导体高端材料抛光需求在半导体产业飞速发展的今天，砷化镓GaAs作为第二代半导体材料的代表，因其优异的电子迁移率和直接带隙特性，在射频前端、光电器件和高速集成电路中扮演着不可替代的角色。然而，砷化镓衬底的高效精密抛光一直是行业面临的重大挑战。砷化镓CMP抛光的核心挑战砷化镓材料由两种硬度和化学性质差异显著的原子构成，在抛光过程中容易产生晶格损伤、表面粗糙和化学计量比失衡等问题。传统的抛光工艺难以同时实现全局平坦化、低表面损伤和高材料去除率，这直接影响着后
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