- [吉致动态]氧化铝悬浮液在化学机械抛光(CMP)中的应用与优化[ 2025-04-02 14:04 ]
- 化学机械抛光(CMP)是半导体制造、光学玻璃加工和集成电路生产中的关键工艺,而氧化铝悬浮液因其优异的机械磨削性能和化学可控性,成为CMP工艺的核心材料之一。吉致电子(JEEZ Electronics)作为CMP半导体精密电子材料供应商,致力于为客户提供高性能的氧化铝CMP悬浮液解决方案。本文将详细介绍氧化铝CMP悬浮液的关键特性、配方优化及行业应用。1. 氧化铝CMP悬浮液的核心要求在CMP工艺中,氧化铝悬浮液(氧化铝研磨液/抛光液)需满足以下关键指标,以确保高抛光效率、低表面损伤和长期稳定性:性能指标要求颗粒粒径
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- [吉致动态]吉致电子---常见的半导体研磨液有哪些[ 2023-07-31 17:23 ]
- 吉致电子半导体研磨液有哪些?常见的CMP研磨液有氧化铝研磨液,金刚石研磨液,蓝宝石研磨液。分别用于磨削工件、半导体制程、光学玻璃晶圆等工件加工。 其中金刚石研磨液,它的硬度非常高,性能稳定切削力强,被广泛应用于led工业、半导体产业、光学玻璃和宝石加工业、机械加工业等不同行业中。研磨液是半导体加工生产过程中的一项非常重要工艺,它主要是通过CMP研磨液混配磨料的方式对半导体表面进行精密加工,达到平坦度。研磨液是影响半导体表面工作质量的重要经济因素。吉致电子用经验和技术服务每一位客户,有CMP
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- [吉致动态]纳米抛光液---纳米氧化铝抛光液[ 2022-08-31 17:24 ]
- 氧化铝粉体具有多个晶体形态,常见的有Y,θ,α,δ等相。其中α相的氧化铝为其他相的氧化铝高温转变而成。作为抛光液用的α氧化铝颗粒,根据抛光(粗抛/精抛)的要求不同,a -Al2O3平均颗粒大小可以从100nm到500/1000nm而不同,但不管是何种抛光,氧化铝的硬团聚体,或超大颗粒越少越好,这些超大颗粒会在抛光过程中给晶体表面造成划伤,导致整个抛光过程失败。所以,在制备以a-Al2O3为主体的抛光液过程中,如何控制超大颗粒是一关键。吉致电子氧化铝研磨液/氧化铝精抛液,颗粒经表面改性处理,按特殊化学配方充分混合制备
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