- [常见问题]CMP工艺中油性金刚石与水性金刚石研磨液的差异及应用解析[ 2025-09-10 09:03 ]
- CMP工艺中油性与水性金刚石研磨液的差异及应用解析在CMP化学机械工艺中研磨液作为核心耗材，直接影响工件的抛光效率、表面质量及生产成本。其中，油性金刚抛光液与水性金刚石研磨液凭借各自独特的性能特点，在不同加工场景中发挥着重要作用。吉致电子小编将从成分、性能及应用场景三方面，深入解析两者的差异，为行业应用提供参考。一、核心成分差异研磨液的基础成分决定了其基本特性，油性与水性金刚石研磨液在分散介质及辅助添加剂上存在显著区别：油性金刚抛光液：以油类（如酒精基、矿物油基等）为主要分散介质，配合润滑剂、防锈剂及金刚石磨粒组成
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