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[行业资讯]蓝宝石衬底CMP抛光为什么要用吸附垫[ 2025-09-25 17:12 ]: 在蓝宝石衬底的化学机械抛光（CMP）加工中，吸附垫（也常称为 “真空吸附垫” 或 “承载吸附垫”）是连接抛光机工作台与蓝宝石衬底的核心辅助部件，其作用贯穿 “衬底固定 - 压力传递 - 抛光稳定性 - 表面质量保障” 全流程，直接影响 CMP 加工的效率、精度与成品良率。以下从核心作用和技术意义两方面展开详细解析：一、吸附垫的核心作用吸附垫的本质是通过 “物理吸附 + 柔性适配” 实现衬底与工作台的可靠结合，具体功能可拆; http://www.jzdz-wx.com/Article/2025lbscdcmppg_1.html

[吉致动态]蓝宝石衬底CMP抛光新视野：氧化铝与氧化硅的多元应用[ 2025-04-11 15:47 ]: 在蓝宝石衬底的化学机械抛光（CMP）工艺中，抛光材料的选择直接关系到抛光效果和生产效率。氧化铝和氧化硅作为两种常用的抛光磨料，以其独特的性能优势，在该领域发挥着不可替代的作用。吉致电子凭借深厚的行业积累，为您深入剖析这两种材料在蓝宝石衬底 CMP 抛光中的特性与应用。氧化铝在抛光中的特性硬度匹配优势α-氧化铝的硬度与蓝宝石极为接近，这一特性在抛光过程中具有关键意义。理论上，相近的硬度可能会增加划伤蓝宝石表面的风险，但在实际应用中，只要确保氧化铝磨料的颗粒形状规则、粒径分布均匀，就能有效避免划伤。在抛光压力作用下，凭; http://www.jzdz-wx.com/Article/lbscdcmppg_1.html

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