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[常见问题]吉致电子:CZT碲锌镉晶体CMP抛光崩边防控解决方案[ 2026-02-28 13:31 ]
碲锌镉CMP化学机械抛光工艺如何防止晶片崩边?碲锌镉(CZT)晶体莫氏硬度仅2.0–2.5,断裂韧性低、质地软脆,在化学机械抛光(CMP)中极易出现崩边缺陷,直接制约器件性能与成品率。吉致电子依托多年CZT晶体精密加工经验,从装夹保护、抛光耗材选型、工艺控制及全流程配套出发,构建出一套高效稳定的CZT晶体CMP崩边防控方案,可支撑高精度CZT晶体规模化量产。首先,碲锌镉晶片加工的防控原则是以边缘保护为核心、低应力加工为基础、CMP化学机械协同合作为关键,经精细化管控规避碲锌镉工件边缘应力集中、物理冲击及
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