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半导体抛光液---陶瓷覆铜板DPC抛光液/DBC研磨液

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2022-11-18 14:46【

吉致电子陶瓷覆铜板研磨液/DPC抛光液/DBC研磨液 通常有粗抛和精抛两道工艺,根据客户对工件抛磨要求和表面粗糙度不同,选择不同的DPC研磨液或精抛液。

陶瓷覆铜板DPC/DBC的粗抛工艺,主要是快速减薄尺寸,提高抛磨效率。对于质量度要求更高的DPC基板,需要进行二次精抛,达到去除表面缺陷和不良效果的目的,使用吉致电子陶瓷覆铜板研磨液/精抛液后,DPC/DBC基板的表面粗糙度RA值可达0.003μm以下。

选择吉致陶瓷覆铜板研磨液/DPC抛光液/DBC研磨液可实现陶瓷基板粗抛、精抛不同阶段效果。经过吉致CMP抛光后,工件对比如下:

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