- [常见问题]半导体抛光中铜抛光液和钨抛光液的区别[ 2023-08-18 16:58 ]
- 常用的半导体抛光液,按抛光对象的不同分W钨抛光液、CU铜抛光液、氧化层抛光液、STI抛光液等。其中铜抛光液slurry主要应用于 130nm 及以下技术节点逻辑芯片的制造工艺,而钨抛光液W slurry则大量应用于存储芯片制造工艺,在逻辑芯片中用量较少。 铜抛光液,主要由腐蚀剂、成膜剂和纳米磨料组成。腐蚀剂用来腐蚀溶解铜表面,成膜剂用于形成铜表面的钝化膜,钝化膜的形成可以保护腐蚀剂的进一步腐蚀,并可有效地降低金属表面硬度。除此之外,CMP抛光液中经常添加一些化学试剂以调节PH值,为抛光过程
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- [吉致动态]吉致电子常见的CMP研磨液[ 2023-02-27 16:15 ]
- CMP 化学机械抛光液slurry的主要成分包括:磨料、添加剂和分散液。添加剂的种类根据产品适用场景也有所不同,分金属抛光液和非金属抛光液。金属CMP抛光液含:金属络合剂、腐蚀抑制剂等。非金属CMP抛光液含:各种调节去除速率和选择比的添加剂。 根据抛光对象不同,抛光液可分为铜抛光液、钨抛光液、硅抛光液和钴抛光液等类别。其中,铜抛光液和钨抛光液主要用于逻辑芯片和存储芯片制造过程,在10nm 及以下技术节点中,钴将部分代替铜作为导线;硅抛光液主要用于硅晶圆初步加工过程中。吉致电子常见的CMP研
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- [行业资讯]半导体抛光液--球型二氧化硅抛光液的用途[ 2022-11-23 15:21 ]
- 球形硅微粉作为抛光液磨料,可大大提高产品的刚性、耐磨性、耐候性、抗冲击性、耐压性、抗拉性、阻燃性、良好的耐电弧绝缘性和耐紫外线辐射性。让我们来看看球型二氧化硅抛光液在电子芯片中的一些应用。 精密研磨粉高纯球形硅粉用于光学器件和光电行业的精密研磨,特别适用于半导体单晶多晶硅片、显像管玻壳玻屏、光学玻璃、液晶显示器(LCD、LED)玻璃基板、压电晶体、化合物半导体材料(砷化镓、磷化铟)、磁性材料等半导体行业的研磨抛光。 吉致电子用高纯球形硅粉制备成的超高纯硅溶胶抛光液slurry,
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- [行业资讯]金属手机边框的镜面抛光方法是什么?[ 2022-10-31 16:01 ]
- 手机金属外壳/手机边框材质一般为不锈钢、钛合金、铝合金等,如华为\Iphone手机金属边框要达到完美的镜面效果需要精抛步骤----手机镜面抛光液slurry的主要成份是二氧化硅,二氧化硅抛光液外观为乳白色,呈悬浮液状态,在抛光过程中起到收光磨料的作用。 金属手机精抛液的主要技术要求是什么呢?①镜面抛光液PH值的选择:PH值高低很可能会影响到最终的抛光效果,高低差别会导致手机金属工件发黑氧化,以及麻点和起雾,所以如何控制PH值非常重要。②镜面抛光液磨粒大小的选择:氧化硅磨料颗粒大小,直接影响
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- [吉致动态]吉致电子 射频滤波器抛光液slurry厂家[ 2022-10-20 17:38 ]
- 射频滤波器发展至今,基本主要有两种构型,其中,一类是SAW滤波器(声表面波,Surface Acoustic Wave),另一类是BAW滤波器(体声波,Bulk Acoustic Wave),而BAW滤波器又可细分为SMR(固态装配谐振器,Solidly Mounted Resonator)和FBAR(薄膜腔谐振器,Film Bulk Acoustic Resonator)4-6。目前市场主流的滤波器是SAW(声表面波滤波器)、BAW(体声波滤波器)和FBAR(薄膜腔声谐振滤波器) 随着5
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- [行业资讯]吉致资讯第151期:生活中离不开的“滤波器”[ 2021-08-21 08:52 ]
- 吉致资讯第151期:生活中离不开的“滤波器” 我们生活中离不开一样潜在的东西,那就是滤波器,我们不管是wifi、蓝牙、手机的2g/3g/4g/5g等的信号发射和接受都需要滤波器,一台小小的手机就需要数十个滤波器的元器件,而滤波器的主要性能就是性能,而平坦度直接影响其性能,所以在生产滤波器的过程中会进行CMP化学机械抛光,其需要用到抛光液slurry,目前这一耗材长期受国外“卡脖子”,国外企业说断供就断供,而目前国内无锡吉致电子科技有限公司聘请国外留学归来博士
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