随着科学技术的发展，科技产品对玻璃的要求越来越高，如手机等屏幕需要更高硬度的玻璃来防止屏幕刮花，蓝宝石的应用开始越来越广，需求也越来越多，如蓝宝石摄像头，蓝宝石屏幕，蓝宝石手表等等，但蓝宝石硬度高，脆性大，对其进行机械加工非常困难。

因此，研究化学机械抛光并应用到蓝宝石加工上是非常必要的。目前，我国蓝宝石批量生产的技术还很不成熟，切割完的蓝宝石晶片有很深的加工痕迹，抛光后易形成很深的麻坑或划伤。在生产蓝宝石衬底的时候产生裂痕和崩边现象的比例比较高，占总是的5%-8%。抛光过程中影响抛光质量的因素有很多，如抛光液的组分和PH值、压力、温度、流量、转速和抛光垫的质量等。

蓝宝石的抛光需要对抛光液材质有很高的要求，磨料太软会导致抛光时间过长而抛光效果不理想，目前抛蓝宝石合适的是钻石抛光液，钻石抛光液磨料是采用金刚石，有很高的硬度，搭配蓝宝石抛光垫有很快的抛光速率。如果对抛光光良度有很高的要求可以在选用硅溶胶抛光液进行精拋。

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抛光垫种类：阻尼布抛光垫，聚氨酯抛光垫，白磨皮抛光垫

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抛光液种类：氧化硅抛光液，氧化铝抛光液，钻石抛光液

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