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阻尼布精抛垫:硬脆材料CMP抛光高精度解决方案

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2025-09-02 16:33【

在CMP化学机械抛光工艺中适,抛光垫CMP Pad的性能对精密元件表面处理效果影响极大。吉致电子阻尼布抛光垫(精抛垫)质地细腻,表面柔软、多孔、弹性好且使用周期长,用于晶圆、金属、脆硬材料的最终抛光。

吉致电子阻尼布精抛垫采用特殊纤维结构,构建起三维网络孔隙。这些孔隙如同细密的管道,在抛光时能够高效输送抛光浆料,让浆料均匀覆盖元件表面,从而提升抛光表面的一致性。同时,抛光垫的孔隙能迅速将抛光过程中产生的碎屑排走,有效避免碎屑在元件表面反复摩擦,降低表面被划伤的风险,极大提升了抛光后元件的表面质量。

吉致电子阻尼布抛光垫.jpg

在碳化硅SiC衬底、LED蓝宝石、Si硅晶圆等硬脆材料的精抛环节,吉致电子阻尼布精抛垫的优势尤为突出。它的弹性模量经过精准调控,在抛光时能轻柔贴合硬脆材料表面,提供恰到好处的抛光压力,既保证有效去除材料表面微小瑕疵,又避免因压力过大造成元件崩边,确保硬脆材料在精抛后表面光滑平整,达到极高的精度要求。

吉致电子阻尼布精抛垫可定制、可开槽、可背胶、可裁切。多种厚度、硬度、压缩比、尺寸等规格满足不同工件材料的抛光需求。针对蓝宝石材料精抛,JZ-LBS精抛垫能凭借独特的纤维材质和孔隙结构,实现对蓝宝石表面的超精细处理,呈现出镜面般的光洁度。在砷化镓、氮化铝等三五族、二六族化合物半导体材料的精抛应用中,吉致电子阻尼布精抛垫JZ-BDT系列也能稳定发挥,通过对抛光浆料的精准输送和对抛光压力的精准控制,实现材料表面的原子级平整化,满足这类化合物半导体材料在高端应用中的严苛要求。

吉致电子阻尼布精抛垫Final Polishing Pad以出色的产品性能,为CMP工艺的精密抛光提供了可靠解决方案,助力企业在半导体制造、光学元件加工等领域,实现产品表面处理的高精度与高品质。

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