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[行业资讯]CMP抛光液---复合磨料抛光液[ 2022-09-15 13:53 ]: 复合磨料抛光液 CMP抛光液产品除了混合磨料外，也有利用各种新兴材料制备复合磨料，常用的方法有纳米粒子包覆和掺杂等。如通过结构修饰改善纳米粒子的分散性、复合其他类型材料提升在酸、碱性抛光液中的综合性能等。复合磨料抛光液相比混合磨料和单一磨料，在材料去除率及表面粗糙度方面均有明显的优势，能实现纳米级或亚纳米级超低损伤的表面形貌。但复合磨料的制备工艺相对比较复杂，目前仅处于实验室探索阶段，距离复合磨料在大规模生产上的应用还有较远的距离。吉致电子科技25年抛光液生产厂; http://www.jzdz-wx.com/Article/cmppgyfhml_1.html

[常见问题]磨料在CMP抛光液中的作用[ 2022-08-26 14:45 ]: 抛光磨料是CMP抛光液中的主要成分，在抛光过程中通过微切削、微擦划、滚压等方式作用于工件表面，达到机械去除材料的作用。抛光液根据磨料成分一般分为单一磨料抛光液，混合磨料抛光液，复合磨料抛光液磨料在CMP抛光过程中起到的作用为：（1）机械作用的实施者，起机械磨削作用；（2）传输物料的功能，不仅将新鲜浆料传输至抛光垫与被抛材料之间，还将反应物带离材料表面，使得材料新生表面露出，进一步反应去除。所以选择抛光液时记得考虑分散性好，流动性好，硬度适中，易于清洗的抛光液产品，有相关问题; http://www.jzdz-wx.com/Article/mlzcmppgyz_1.html

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