CMP抛光液---复合磨料抛光液
复合磨料抛光液
CMP抛光液产品除了混合磨料外,也有利用各种新兴材料制备复合磨料,常用的方法有纳米粒子包覆和掺杂等。如通过结构修饰改善纳米粒子的分散性、复合其他类型材料提升在酸、碱性抛光液中的综合性能等。
复合磨料抛光液相比混合磨料和单一磨料,在材料去除率及表面粗糙度方面均有明显的优势,能实现纳米级或亚纳米级超低损伤的表面形貌,主要适用制备成半导体抛光液。但复合磨料的制备工艺相对比较复杂,目前仅处于实验室探索阶段,距离复合磨料在大规模生产上的应用还有较远的距离。
吉致电子科技25年抛光液生产厂家,设立CMP耗材研发中心拥有多项抛光液发明专利,与国际化学机械抛光行业保持同步,研发生产性价比更好的抛光液产品,适用于金属行业、半导体行业、陶瓷行业、光电行业等,关注吉致动态,为您解决工件抛光难题!
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