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[吉致动态]吉致电子:Oxide抛光液的核心作用与应用解析[ 2025-03-08 10:10 ]
氧化层抛光液(OX slurry)是一种专为半导体制造、金属加工及精密光学元件等领域设计的高性能化学机械抛光(CMP)材料。其核心作用是通过化学腐蚀与机械研磨的协同效应,精准去除材料表面的氧化层、瑕疵及微观不平整,从而实现高平整度、低缺陷率的抛光效果。该技术贯穿芯片 “从砂到芯” 的全流程,是集成电路制造中晶圆平坦化工艺的关键材料。吉致电子氧化层抛光液的功能与优势如下:一、吉致电子CMP氧化层抛光液的核心功能1.精准表面处理通过化学腐蚀与机械研磨协同作用,定向去除材料表面氧化层、瑕疵及微观不
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