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[常见问题]氮化镓晶片CMP无蜡吸附垫--解锁半导体高精度制程的关键[ 2025-12-05 17:55 ]: 氮化镓CMP抛光工艺中无蜡吸附垫的核心必要性：解锁高精度制程的关键在氮化镓（GaN）作为第三代半导体核心材料的产业化进程中，化学机械拋光（CMP）是决定器件表面质量、电性能及可靠性的核心制程环节。氮化镓材料具有高硬度、高脆性、晶格结构致密等特性，传统CMP工艺中常用的有蜡吸附垫（如石蜡、树脂蜡基吸附材料）已难以满足其高精度加工需求。无蜡吸附垫凭借其独特的材料设计与工艺适配性，成为氮化镓CMP抛光中不可替代的关键组件，其必要性主要体现在以下五大核心维度：一、规避材料损伤，保障氮化镓晶圆完整性氮化镓的断裂韧性仅为硅的1; http://www.jzdz-wx.com/Article/dhjjpcmpwl_1.html

[吉致动态]吉致电子 Diamond slurry多晶金刚石研磨液[ 2023-09-19 17:15 ]: 吉致电子多晶金刚石研磨液---由优质多晶金刚石微粉复合分散剂和分散介质制备而成，广泛适用于半导体行业、金属行业、光电行业等工件的研磨加工。金刚石研磨液主要应用领域：蓝宝石加工----用于蓝宝石A向、C向、R向、M向，蓝宝石LED衬底、蓝宝石盖板、蓝宝石窗口片。半导体加工----单晶/多晶硅、碳化硅SIC、氮化镓晶圆片加工陶瓷材料加工--氧化锆指纹识别片，氧化锆陶瓷手机后壳，氮化铝陶瓷以及其他功能陶瓷加工。光学晶体加工--硒化锌晶体、硫化锌晶体以及其他晶体材料加工。金属材料加工--不锈钢、铝合金、硬质合金、钨钼合金以; http://www.jzdz-wx.com/Article/jzdzdiamon_1.html

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