- [吉致动态]硅片抛光液(Slurry)在半导体制造中的关键作用与技术特性[ 2025-03-27 17:06 ]
- 在半导体制造工艺中,硅片的全局平坦化是确保集成电路性能与可靠性的关键步骤。化学机械抛光(CMP, Chemical Mechanical Polishing)技术通过化学腐蚀与机械研磨的协同作用,实现硅片表面的纳米级平整,而硅片抛光液(Slurry)作为CMP工艺的核心耗材,其性能直接影响抛光效率与表面质量。吉致电子(Geeze Electronics)作为半导体材料领域的领先供应商,致力于提供高性能硅片抛光液解决方案,助力先进制程的发展。1. 硅片抛光液的核心组成硅片抛光液是一种精密配制的胶体悬浮液,主要
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- [行业资讯]吉致电子---Si硅片抛光液,为半导体护航[ 2024-11-07 16:12 ]
- 半导体硅片抛光液是一种均匀分散胶粒的乳白色胶体,在半导体材料的CMP加工过程中起着至关重要的作用。其外观通常为乳白色或微蓝色透明溶液。半导体硅片Si抛光液主要有抛光、润滑、冷却等作用。在抛光方面,Si Slurry能够有效地去除半导体硅晶圆表面的杂质和凸起,使硅片表面更加光滑平整。例如,经过抛光液处理后,晶片表面的微粗糙度可以达到 0.2nm 以下。在润滑作用中,它可以减少硅片与抛光设备之间的摩擦,降低磨损,延长设备的使用寿命。同时,在抛光过程中会产生热量,而抛光液的冷却作用可以及时带走热量,防止硅片
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