- [行业资讯]吉致电子碳化硅CMP研磨液：助力SiC半导体制造升级[ 2025-06-26 16:03 ]
- 吉致电子碳化硅CMP研磨液采用多组分协同作用的设计理念，结合氧化铝磨料的高效机械作用与高锰酸钾的精密化学氧化，实现了材料去除率与表面质量的完美平衡。产品经过严格的质量控制和实际产线验证，具有以下核心优势：1. 高效化学-机械协同抛光机制吉致电子CMP研磨液的独特之处在于其双重作用机制：高锰酸钾(KMnO4)作为强氧化剂，在抛光过程中将碳化硅表面氧化生成较软的SiO2层，这一氧化层硬度显著低于碳化硅基底，随后被氧化铝磨料高效机械去除。通过调节pH值(通常控制在10-11之间)，实现了氧化速率与机械去除的最佳匹配，既保
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