- [行业资讯]高硬度蓝宝石CMP加工：材料特性与抛光液选型参考[ 2026-08-13 15:11 ]
- 蓝宝石（单晶Al2O3）莫氏硬度高达9，具备优异透光性、耐高温与化学稳定性，是LED外延衬底、光学窗口、光电传感器的重要基材。由于材质硬度高、晶体存在各向异性（A向、C向、M向）传统研磨易产生微划痕与亚表面损伤；CMP化学机械抛光成为实现蓝宝石原子级超光滑表面的核心工艺，而抛光液配方体系，直接决定去除速率、表面粗糙度与成品良率。蓝宝石工件量产抛光普遍采用粗抛—中抛—精抛3道阶梯式工艺，不同工序对应差异化抛光液体系，主要分为纳米氧化铝体系、胶体二氧化硅体系两大方向。一、蓝宝石CMP主流抛光液体
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http://www.jzdz-wx.com/Article/lbstxycmpp_1.html
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