- [行业资讯]吉致电子:以创新CMP抛光液技术赋能碳化硅衬底新时代[ 2025-06-24 17:06 ]
- 随着第三代半导体产业的蓬勃发展,碳化硅(SiC)衬底凭借其卓越性能,正在新能源汽车、5G通信、智能电网等领域掀起技术革命。作为国内领先的半导体材料解决方案提供商,吉致电子深耕碳化硅衬底CMP抛光液研发,为行业提供高性能、高稳定性的抛光解决方案。碳化硅衬底:高端应用行业的基石碳化硅衬底因其宽禁带、高导热等特性,成为制造高压、高温、高频器件的理想选择。在新能源汽车领域,采用SiC衬底的功率模块可使逆变器效率提升5-10%;在5G基站中,基于SiC衬底的射频器件能显著提升信号传输效率。这些高端应用对衬底表面质量提出严苛要
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- [行业资讯]先进半导体制造中的CMP Slurry:铜/钨/碳化硅抛光液技术与国产化进展[ 2025-04-22 16:26 ]
- 化学机械平坦化(CMP)工艺是半导体制造中的核心技术,其通过化学与机械协同作用实现纳米级表面精度,对集成电路性能至关重要。以下从技术、市场及国产化角度进行专业分析:一、CMP工艺核心要素抛光液(Slurry)化学组分:氧化剂(如H2O2用于Cu CMP)、磨料(纳米SiO2/Al2O3)、pH调节剂及缓蚀剂,需针对材料特性(如Cu/W/SiC)定制配方。关键参数:材料去除率(MRR)、选择比(Selectivity)、表面粗糙度(Ra<0.5nm)及缺陷控制(如划痕≤30nm)。吉致电子优势:25年技术积累可
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- [吉致动态]吉致电子半导体CMP抛光液Slurry解析[ 2025-03-26 16:10 ]
- 在半导体制造工艺中,化学机械抛光(CMP)是实现晶圆表面全局平坦化的核心步骤,而抛光液(Slurry)的性能直接影响芯片的良率和可靠性。随着制程节点不断微缩至5nm、3nm甚至更先进工艺,对CMP抛光液的化学稳定性、材料选择性和缺陷控制提出了更高要求。作为CMP材料解决方案提供商,吉致电子持续优化抛光液技术,助力客户突破先进制程瓶颈。1. 基本组成与功能CMP抛光液由磨料颗粒、化学添加剂和超纯水组成,通过化学腐蚀与机械研磨的协同作用实现晶圆表面纳米级平坦化。磨料颗粒:SiO?(二氧化硅):广泛用于氧化物抛光,具有高
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- [行业资讯]抛光液厂家--CMP抛光液用于几代半导体材料?[ 2023-02-17 15:50 ]
- CMP抛光液用于几代半导体材料? CMP抛光液越来越多的应用于第三代半导体材料的抛光,科研方向朝着攻克抛光液技术门槛和市场壁垒发展。CMP工艺的集成电路比例在不断增加,对CMP材料种类和用量的需求也在增加。更先进的逻辑芯片工艺可能会要求抛光新的材料,为CMP抛光材料带来了更多的增长机会。 目前,第三代半导体材料主要以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)为代表的宽禁带半导体材料。这代半导体具有更宽的禁带宽度、更高的导热率、更高的抗辐射能力
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