- [常见问题]告别传统蜡粘，蓝宝石衬底CMP吸附垫真香！[ 2025-09-19 13:39 ]
- 在蓝宝石衬底化学机械拋光CMP工艺中，无蜡吸附垫Template是实现衬底稳定固定、保障抛光精度与良率的核心辅助部件，TP垫的作用是围绕“无损伤固定”“精准工艺控制”“高效生产”三大核心目标展开，具体可拆解为以5个关键维度：1.蓝宝石衬底吸附垫的功能：替代传统蜡粘，实现“无损伤固定”传统蓝宝石衬底CMP中，常采用热蜡粘贴方式将衬底固定在陶瓷吸盘上（通过加热蜡层融化后贴合、冷却后固化），但存在明显缺陷：蜡层残留需额外清洗（
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