吉致资讯第88期 抛光垫质量的的影响因素
1、 硬度:抛光垫的硬度决定保持面形精度的能力;
2、 压缩比:压缩比反应抛光垫的抗变形能力;
3、 涵养量:单位体积的抛光垫存储抛光液的质量;
4、 粗糙度:抛光垫表面的凹凸不平程度;
5、 密度:抛光垫材料的致密程度;
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抛光液种类:氧化硅抛光液,氧化铝抛光液,钻石抛光液
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