- [吉致动态]专注半导体先进制程:吉致电子CMP精抛垫稳定可靠[ 2026-03-13 14:38 ]
- 随着半导体先进制程持续迭代突破,7nm以下芯片制造对CMP化学机械抛光的最终精抛环节,提出了近乎严苛要求:既要实现纳米级材料的精准可控去除,又要确保表面零微观缺陷。然而,传统抛光垫始终难以兼顾精度与品质两大核心诉求。吉致电子凭借阻尼布抛光垫(CMP精抛垫)的创新设计,成功突破行业技术瓶颈,为碳化硅(SiC)、砷化镓(GaAs)、光学玻璃等关键材料,打造原子级表面平整度,成为先进半导体制程的“核心助攻”,彻底解决精抛环节的痛点难题。吉致电子阻尼布精抛垫为什么能成为半导体行业优选?不同于传统抛光
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http://www.jzdz-wx.com/Article/article-95861507331_1.html

- [行业资讯]阻尼布精抛垫:硬脆材料CMP抛光高精度解决方案[ 2025-09-02 16:33 ]
- 在CMP化学机械抛光工艺中适,抛光垫CMP Pad的性能对精密元件表面处理效果影响极大。吉致电子阻尼布抛光垫(精抛垫)质地细腻,表面柔软、多孔、弹性好且使用周期长,用于晶圆、金属、脆硬材料的最终抛光。吉致电子阻尼布精抛垫采用特殊纤维结构,构建起三维网络孔隙。这些孔隙如同细密的管道,在抛光时能够高效输送抛光浆料,让浆料均匀覆盖元件表面,从而提升抛光表面的一致性。同时,抛光垫的孔隙能迅速将抛光过程中产生的碎屑排走,有效避免碎屑在元件表面反复摩擦,降低表面被划伤的风险,极大提升了抛光后元件的表面质量。在碳化硅SiC衬底、
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http://www.jzdz-wx.com/Article/znbjpdyccl_1.html

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