- [吉致动态]吉致电子CMP Pad化学机械抛光垫[ 2024-12-27 18:27 ]
- 吉致电子专注研发、设计、测试与生产制造CMP耗材,CMP PAD化学机械抛光垫用于半导体制造、平面显示器、光学玻璃、各类晶圆衬底材料、高精密陶瓷件、金属与硬盘基板的研磨抛光工艺。吉致电子CMP抛光垫采用精密涂布技术和科技材料能有效提升客户制程中的移除率和高平坦度、低缺陷等要求。吉致抛光垫团队从事高分子材料合成、发泡技术与复合材料研制已有多年经验,积累深厚的材料制造和研发基础.抛光垫产品因其特殊纤维材质,耐用、耐磨、耐酸碱,价比高。PAD产品包括且不限于:聚氨酯抛光垫、阻尼布精抛垫、复合抛光垫、绒面抛光垫、无纺布抛光
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- [吉致资讯]吉致电子CMP精抛垫的作用有哪些[ 2024-12-17 15:37 ]
- 吉致电子CMP精抛垫的作用有哪些?化学机械抛光(CMP)技术是目前国际上公认的唯一能够实现全局平坦化的技术,在半导体技术领域中占据着举足轻重的地位。CMP精抛垫,作为CMP化学机械平面研磨(Chemical Mechanical Polishing)精抛阶段所使用的抛光垫,是半导体制造过程中不可或缺的关键耗材。吉致电子CMP抛光垫--精抛垫的功能特点将通过以下四个方面进行阐述: CMP精抛垫在CMP工艺流程中发挥着至关重要的作用,其主要功能涵盖:1.确保抛光液能够高效且均匀
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- [行业资讯]吉致电子CMP抛光垫:从粗到精,体验高效抛光[ 2024-11-29 14:35 ]
- CMP(化学机械抛光)抛光垫是一种在半导体制造过程中用于平面化晶圆表面的关键材料。CMP抛光垫通过结合化学反应和机械研磨的方式,能够有效地去除晶圆表面的多余材料,从而达到高度平整的表面质量。抛光垫CMP PAD通常由高分子聚合物材料制成,表面具有一定的微孔结构,以便在抛光过程中储存和释放抛光液CMP Slurry,从而确保抛光过程的均匀性和效率。 CMP抛光垫在使用过程中需要定期更换,以保持其最佳的抛光性能。不同的CMP抛光垫适用于不同的抛光工艺和材料,因此选择合适的抛光垫对于确保晶圆质量
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- [常见问题]吉致电子CMP抛光垫的作用[ 2024-07-18 16:19 ]
- CMP技术是指被抛光材料在化学和机械的共同作用下,工件表面达到所要求的平整度的一个工艺过程。cmp抛光液中的化学成分与被抛磨工件材料表面进行化学反应,形成易去除的软化层,抛光垫和抛光液中的研磨颗粒对材料表面进行物理机械抛光将软化层除去。在CMP制程中,抛光垫的主要作用有:①使抛光液有效均匀分布至整个加工区域,且可提供新补充的抛光液进行一个抛光液循环;②从工件抛光表面除去抛光过程产生的残留物(如抛光碎屑、抛光碎片等);③传递材料去除所需的机械载荷;④维持抛光过程所需的机械和化学环境。除抛光垫的力学性能以外,其表面组织
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- [常见问题]打磨碳化硅需要哪种抛光垫?[ 2023-08-17 16:41 ]
- 打磨碳化硅需要哪种抛光垫? 打磨碳化硅衬底分研磨和抛光4道工序:粗磨、精磨、粗抛、精抛。抛光垫的选择根据CMP工艺制程的不同搭配不同的研磨垫:粗磨垫/精磨垫/粗抛垫/精抛垫 吉致电子CMP抛光垫满足低、中及高硬度材料抛光需求,具有高移除率、高平坦性、低缺陷和高性价比等优势。结合硬质和软质研磨抛光垫的优点,可兼顾工件的平坦度与均匀度碳化硅研磨选择吉致无纺布复合抛光垫,提供更快磨合的全局平坦性,提升碳化硅晶圆制程的稳定性与尺寸精密度。 压纹和开槽工艺,让PAD可保持抛光
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