- [吉致动态]吉致电子---无蜡吸附垫的特点[ 2024-12-27 18:00 ]
- 无蜡垫与吸附垫是在半导体与光学玻璃领域取代蜡块粘结工件的科技产品。有直接吸附型与带框置具型,搭配吉致CMP纳米级抛光液使用,可提升晶圆、衬底、芯片的抛光效率和良品率。无蜡吸附垫Template是替代以蜡将工件黏附在置具上的模式,内层採用了拋光微孔材料其吸附性能表现为真空状态吸附住被抛光工件,良好的压缩率和回弹性分别适合中高压研磨制程。广泛应用于半导体晶圆/芯片/蓝宝石衬底TFT/STN/素玻璃/石英光罩/光学玻璃等领域的CMP单面抛光。 吉致电子无蜡吸附垫的优点在于加工过程中
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- [吉致动态]吉致电子氮化铝陶瓷基片抛光[ 2023-12-08 16:41 ]
- 氮化铝陶瓷基板具有高导热率、低介电常数、低热膨胀系数、高机械强度、高耐腐蚀性等特点。其作为电路元件及互连线承载体,广泛应用再军事和空间技术通讯、计算机、仪器仪表、半导体电子设备、汽车等各个领域。氮化铝陶瓷经过CMP抛光后可用于半导体激光器、固体继电器、大功率集成电路及封装等要求绝缘又高散热的大功率器件上。吉致电子氮化铝陶瓷抛光液可达镜面效果,特点如下:1、纳米级抛光液,抛光后具有较优的粗糙度2、陶瓷基片抛光液绿色无污染、不含卤素及重金属元素3、抛光液可循环使用,根据工艺要求可添加去离子水稀释氮化铝陶瓷基板通过CMP
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