2月22日，在化学机械抛光实验室，一名科研人员在展示应用化学机械抛光液研磨的硅衬底。

2月22日，由一家科技型中小企业建立的我国首条化学机械抛光液生产线，年产能达6000吨，创造直接经济价值亿元，可取代进口产品。

据介绍，该企业依托河北工业大学建立，共同承担国家中长期科技发展规划02重大专项“大规模集成电路平坦化工艺与材料”项目。由学校研发、公司生产的系列化学机械抛光液、清洗液处于我国领头地位，已在北京、上海、江苏等省市三十余家微电子企业实现规模应用。

转载需附出处及原文链接 http://www.jzdz-wx.com/

无锡吉致电子科技有限公司

咨询热线：17706168670