金属钼片的CMP抛光工艺
工厂的钼片加工工艺采用粗磨、双端面立磨等研磨工艺,粗磨的合格率仅在85%左右,整体平行度不良居多,造成产品合格率下降,也造成后续加工难度,这与金属钼的特性有关,目前钼片采用CMP抛光工艺(抛光液+抛光垫)能达到镜面效果。
钼的特点:钼是一种难溶金属,具有很多优良的物力化学和机械性能。由于原子间结合力极强,所以在常温和高温下强度均非常高。它的膨胀系数低,导电率大,导热性好。在常温下不与盐酸、氢氟酸及碱溶液反应,仅溶于硝酸、王水或浓硫酸之中,对大多数液态金属、非金属熔渣和熔融玻璃亦相当稳定。

金属钼在冶金、农业、电器、化工、环保和宇航等领域应用广泛,钼必须以受控的方式通过抛光或磨光移除,以实现适合例如用于半导体器件制造的表面性质。
吉致可提供钼片/金属钼的镜面抛光液:
1、微米/纳米级抛光液,抛光后具有均匀镜面效果
2、磨料颗粒呈悬浮状态,不易分散沉淀,提高CMP效率和稳定性
3、钼片专用抛光液磨料硬度高、稳定性好、化学惰性强,
通过CMP化学机械平面抛光工艺,结合吉致电子平面研磨机配合研磨液、抛光液、研磨盘就可以达到理想镜面效果。
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