吉致电子---什么是金刚石悬浮液CMP研磨液
金刚石悬浮液(CMP研磨液)是一种由人造钻石磨粒分散于水基或油基液体中制备而成的抛光悬浮液。它在硅片、硬质合金、高密度陶瓷、蓝宝石衬底体等多个领域都有着广泛的应用。金刚石研磨液所含微粒是其发挥机械作用的关键因素。不同种类、不同粒度的金刚石微粉,抛光去除效果各不相同。例如,金刚石磨料硬度越高、粒径越大,磨削效率越高,但加工表面光洁度越低;反之,金刚石磨料硬度越低、粒径越小,磨削效率越低,而加工表面光洁度越高。所以,可以根据工件的具体参数选择 不同型号和粒径的金刚石研磨液进行粗抛和精抛。
金刚石悬浮液CMP研磨液具有以下特点
①磨料类型多样化,包含单晶、多晶、类多晶及纳米级金刚石等。
②悬浮液分散剂包含水性、油性及乳化型,能够满足不同场景的加工需求。
③金刚石研磨液粘度可调整,有低粘度、中等粘度和高粘度可供选择。
吉致电子金刚石悬浮液应用领域:
①半导体晶片抛光液CMP加工:可用于蓝宝石衬底、碳化硅、氮化镓等半导体晶片;
②高硬度精密陶瓷抛光液:适用于陶瓷指纹识别片、氧化锆陶瓷手机后壳及其它功能陶瓷;
③金属材料研磨液:适用于不锈钢、铝合金、钛合金、合金铜及其它金属材料。
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