蓝宝石衬底研磨用什么抛光液
CMP工艺怎么研磨蓝宝石衬底?需要搭配什么抛光液?蓝宝石抛光万能公式:粗抛、中抛、精抛,每道工序使用不同磨料的抛光液和抛光PAD:
①蓝宝石CMP粗磨:蓝宝石衬底粗磨可以选择硬度高切削力强的吉致金刚石研磨液,搭配金刚石磨盘,速率高效果好可有效去除蓝宝石表面的不平和划痕。
②蓝宝石CMP中抛:这一步可以用铜盘+小粒径的金刚石研磨液,用来去除粗抛留下的纹路,为镜面抛光做前期准备。
③蓝宝石CMP精抛:CMP精抛是蓝宝石衬底最后一道工序,需要用到抛光垫+纳米氧化硅抛光液来收光,呈现平坦无暇的镜面效果。
蓝宝石抛光要根据表面情况来选择不同规格粒径的抛光液,选对抛光液会让抛光效果加倍。
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