抛光垫，其包含一具有一顶部表面和一底部表面的主体，所述顶部表面包含一具有一一深度和一宽度的一组凹槽，所述底部表面包含一具有一其二深度和其二宽度的其二组凹槽，其中所述一组凹槽与其二组凹槽互连并以使其不对准的方式定向。

抛光垫，其包含一主体，所述主体具有：(a)一顶部表面，其包含一具有一一深度和一宽度的一组凹槽；和(b)一底部表面；其包含一具有一其二深度和其二宽度的其二组凹槽，其中所述一组凹槽和其二组凹槽互连并以使其不对准的方式定向。

抛光垫的作用

①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域；

②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果；

③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行；

④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌；