抛光垫其表面结构起到很重要的作用，其中主要的作用是影响着抛光垫储存、运送抛光液的能力和表面局部应力梯度等，下面小福给大家讲解下抛光垫的表面结构，让大家更加了解抛光垫表面结构不同的作用。 

抛光皮具有平整型和带有不同沟槽型的表面结构，吉致常规开槽有（网格型，圆圈型，螺旋形、等形状）不同形状的沟槽起到不同的抛光效果。

采用表面开槽的抛光垫抛光时有以下特点：

1.材料去除率比采用不开槽抛光垫时提高，有效的缩短了抛光时间。

2.工件表面的不均匀性降低，使工件更加平坦化。

3.抛光垫表面适当开槽后，储存、运送抛光液的能力显著增强，磨料分布更均匀、工件表面剪切应力高，因此抛光效率和质量都得到提高。

抛光垫其表面上面的沟槽本身具有着相似于均匀的分布磨粒的作用，它通过其增加去除应力保证工件的移除率。抛光垫表面沟槽形式(平行与垂直交叉型或同心环形)、沟槽形状(V型、U型或楔型)、沟槽方向以及沟槽尺寸(深度、宽度和间距)等对磨料的分布和流动、抛光垫的寿命有着显著的影响。采用表面开有图1所示不同深度槽的两种阻尼布抛光垫的抛光实验

图1表面开有不同深度槽的IC1000抛光垫

吉致结果表明：当整个抛光垫表面的槽足够深时，槽的深度对抛光过程没有影响，但抛光垫表面任何位置的槽磨损会影响到抛光过程甚致使工件表面质量(工件表面不均匀性)恶化。 

对于网格状抛光垫表面，具有较大孔尺寸的抛光垫储存、运送抛光液的能力较强，但太大孔会导致抛光垫的密度减小、硬度降低。抛光垫的粗糙度对材料去除率有着直接的影响。抛光垫粗糙的表面有利于提高材料去除率，这是因为表面粗糙度高的抛光垫与工件表面的接触面积减小，而且粗糙的抛光垫表面可储存更多的抛光液，因此作用在单颗磨粒上的力增大，单颗磨粒的去除材料体积增大。优化抛光垫表面粗糙度可在提高抛光效率的同时获得无损伤层的工件表面。此外，抛光垫厚度也是一个重要因素。对于作为后工序精密抛光，抛光垫厚度须优化。

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抛光垫种类：阻尼布抛光垫，聚氨酯抛光垫，白磨皮抛光垫

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