α -氧化铝(Al2O3)是众多氧化铝晶相中的最稳定的晶体相，它由其他晶相的氧化铝在高温下转变而成，是天然氧化物晶体中硬度最高的物质，硬度仅次于金刚石，远远大于二氧化硅溶胶颗粒，它是一种常用的抛光用磨料，被广泛用于许多硬质材料的抛光上。在CMP抛光液制备中，氧化铝抛光液常用于在蓝宝石窗口的镜面抛光工艺中。

 α -氧化铝(Al2O3)其实与蓝宝石是同一种物质或材料，材料结构中的原子排列模式完全相同，区别在于多晶体与单晶体。因此，从硬度上讲α-氧化铝(Al2O3)纳米粉体与蓝宝石晶体的硬度相当，可以用于抛光蓝宝石工件——蓝宝石晶片、蓝宝石衬底、蓝宝石外延片等。

  蓝宝石晶体的抛光一般是在碱性条件下进行，在碱性条件下的高压摩擦可以使蓝宝石的表面发生一定的化学反应，从而使CMP有效进行，所以磨料在碱性水溶液中的稳定性很重要。氧化铝抛光液在碱性条件下它比氧化硅抛光液更加稳定，可以经受更高的温度而不变质，以a -Al2O3为磨料的抛光液比硅溶胶可以调整到更高的PH区域，具有更高的抛光速度，同时，可以在抛光过程中反复循环使用，成本低，可以大规模推广使用。Q-Al2O3粉体可以制备成平均颗粒大小从I00nm--1000nm以上的不同的抛光液，用于蓝宝石晶体的粗抛，精抛的不同工序中。

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