硫化锌(ZnS)光学窗口片是一种重要的红外光学材料，广泛应用于热成像、导弹整流罩、激光窗口等领域。为确保ZnS光学窗口片具备超高表面平整度、优异红外透过率(8–12 μm波段)和低缺陷率，化学机械抛光CMP成为其精密加工的核心工艺。

吉致电子凭借先进的CMP技术，为硫化锌光学元件提供高精度抛光解决方案，满足军工、光电、半导体等行业的高标准需求。

一、硫化锌CMP抛光的关键挑战

硫化锌材料的特性:

①硬度适中但脆性高(莫氏硬度3-4)，易产生划痕或亚表面损伤。

②化学活性较高，需避免过度腐蚀导致硫流失或表面雾化。

③各向异性抛光，不同晶面需差异化处理。

硫化锌光学窗口片的严苛要求：

①表面粗糙度(Ra)≤ 0.5 nm（超光滑表面）。

②面形精度，确保光学性能。

③无亚表面损伤，避免红外透过率下降。

二、吉致电子的CMP技术优势

①高精度抛光：Ra ≤ 0.5 nm，PV ≤ λ/4，满足红外光学严苛标准。

②低损伤工艺：优化磨料与配比，减少亚表面缺陷。

③智能化控制：光学检测实时监控表面质量。

④环保方案：采用生物基络合剂，减少重金属污染。

吉致电子硫化锌专用CMP抛光液，提供安全高效的机械研磨，纳米磨料及中性ph值Slurry配方，低硬度以减少划痕及表面化学腐蚀，通过优化各组分协同作用，可提高抛光效率并减少表面缺陷。

• 硫化锌光学窗口片的CMP工艺是红外光学器件制造的关键环节。吉致电子通过精密化学机械抛光技术，制备而成的光学玻璃抛光液，确保ZnS窗口片具备超光滑表面和优异光学性能，广泛应用于军工、航天、高端光电领域。

• 如需定制化CMP解决方案，欢迎联系吉致电子技术团队

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